Glow discharge processes / Brian CHAPMAN

Public ISBD Titre : Glow discharge processes : sputtering and plasma etching Type de document : texte imprimé Auteurs : Brian CHAPMAN, Auteur Editeur : John Wiley & Sons,Ltd Année de publication : 1980 Importance : 406 p. Format : 25 cm. ISBN/ISSN/EAN : 978-0-471-07828-9 Note générale : Index. Langues : Américain (ame) Mots-clés :   Physique générale Index. décimale : 05-01 Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=1053 Glow discharge processes : sputtering and plasma etching [texte imprimé] / Brian CHAPMAN, Auteur . - John Wiley & Sons,Ltd, 1980 . - 406 p. ; 25 cm. ISBN : 978-0-471-07828-9 Index. Langues : Américain (ame) Mots-clés :   Physique générale Index. décimale : 05-01 Permalink : index.php?lvl=notice_display&id=1053

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