Bibliothèque de Faculté de Physique
Glow discharge processes : sputtering and plasma etching [texte imprimé] / Brian CHAPMAN, Auteur . - John Wiley & Sons,Ltd, 1980 . - 406 p. ; 25 cm. ISBN : 978-0-471-07828-9 Index. Langues : Américain (ame)
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