Titre :	ion implantation techniques vol10
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	H.Ryssel, Auteur ; H.Glawischnig, Auteur
Editeur :	Springer-verlag
Année de publication :	1982
Importance :	372p
Présentation :	ill.
Format :	23x15
ISBN/ISSN/EAN :	978-3-540-11878-7
Langues :	Anglais (eng)
Catégories :	Physique
Mots-clés :	machine aspects of ion implantation,ion ranger in solids,measuring techniques and annealing,appendix modern ion implantation equipment

ion implantation techniques vol10 [texte imprimé] / H.Ryssel, Auteur ; H.Glawischnig, Auteur . - Springer-verlag, 1982 . - 372p : ill. ; 23x15.
ISBN : 978-3-540-11878-7
Langues : Anglais (eng)

Catégories :	Physique
Mots-clés :	machine aspects of ion implantation,ion ranger in solids,measuring techniques and annealing,appendix modern ion implantation equipment