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Auteur H.Ryssel

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ion implantation techniques vol10 / H.Ryssel

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ISBD

Titre : ion implantation techniques vol10
Type de document : texte imprimé
Auteurs : H.Ryssel, Auteur ; H.Glawischnig, Auteur
Editeur : Springer-verlag
Année de publication : 1982
Importance : 372p
Présentation : ill.
Format : 23x15
ISBN/ISSN/EAN : 978-3-540-11878-7
Langues : Anglais (eng)
Catégories : Physique

Mots-clés : machine aspects of ion implantation,ion ranger in solids,measuring techniques and annealing,appendix modern ion implantation equipment

ion implantation techniques vol10 [texte imprimé] / H.Ryssel, Auteur ; H.Glawischnig, Auteur . - Springer-verlag, 1982 . - 372p : ill. ; 23x15.
ISBN : 978-3-540-11878-7
Langues : Anglais (eng)
Catégories : Physique

Mots-clés : machine aspects of ion implantation,ion ranger in solids,measuring techniques and annealing,appendix modern ion implantation equipment

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7094/1 05.10.0027 Livre Bibliothèque IGCMO Documentaires Disponible